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本發(fā)明公開了一種襯底承載裝置，它包括可旋轉(zhuǎn)的襯底承載器，所述襯底承載器表面設(shè)有用于容置襯底的定位槽，所述定位槽槽壁包括與襯底的定位平邊配合的平邊結(jié)構(gòu)，所述定位槽內(nèi)還設(shè)有用于防止襯底定位平邊的兩端部與定位槽槽壁觸碰的定位緩沖機(jī)構(gòu)，藉此設(shè)計，本...該專利屬于光達(dá)光電設(shè)備科技(嘉興)有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過光達(dá)光電設(shè)備科技(嘉興)有限公司授權(quán)不得商用。