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    下載一種功率器件單元區和保護環區PN結的結深測量方法的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：8162515
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      本發明提供了一種功率器件單元區和保護環區PN結的結深測量方法，包括以下步驟：把金相切片好的樣品，浸泡入按照體積比HF∶HNO3∶CH3COOH＝1∶20∶5配制的單元區結染色液中6秒鐘后取出；使用掃描電子顯微鏡對上述浸泡過的金相切片進行截面...
    該專利屬于上海華碧檢測技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海華碧檢測技術有限公司授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
    詳細技術文檔下載地址
    


                      
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