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本發明提供一種能夠在使用堆積性氣體的等離子處理中，抑制被處理體的處理枚數的增加所產生的異物的等離子處理方法。本發明提供一種等離子處理方法，從被導入到處理室內的堆積性氣體生成等離子體，通過使載置于該處理室內所設置的試料臺上的被處理體以施加了高...
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