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本發明涉及一種半導體設備氣體混合控制器，采用以下技術方案：包括輸入部分、控制處理部分、輸出部分、RS485通訊端口和電源。輸入部分包括模擬信號采集模塊、氫氧比例輸入模塊和SIH4壓力輸入模塊，輸出部分包括模擬通道輸出模塊、控制通道輸出模塊、...
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