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在本發(fā)明的灰色調(diào)掩模的檢查方法中，經(jīng)由照明光學(xué)系統(tǒng)(2)向灰色調(diào)掩模(3)照射從光源(1)發(fā)出的規(guī)定波長的光束，經(jīng)由物鏡系統(tǒng)(4)，由攝像部件(5)攝像經(jīng)過灰色調(diào)掩模(3)的光束，求出攝像圖像數(shù)據(jù)，根據(jù)該攝像圖像數(shù)據(jù)，取得灰色調(diào)掩模的包含半...該專利屬于HOYA株式會社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過HOYA株式會社授權(quán)不得商用。