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本發明公開了一種光學零件中高頻誤差的組合式加工方法，該方法是先利用干涉儀測量待加工光學零件的面形誤差，然后進行PSD分析，基于PSD曲線確定中高頻誤差頻率分布特征；再根據預先確定的加工時間和加工精度得到優化后的去除函數模型，并獲得去除函數的...該專利屬于中國人民解放軍國防科學技術大學所有，僅供學習研究參考，未經過中國人民解放軍國防科學技術大學授權不得商用。
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本發明公開了一種光學零件中高頻誤差的組合式加工方法，該方法是先利用干涉儀測量待加工光學零件的面形誤差，然后進行PSD分析，基于PSD曲線確定中高頻誤差頻率分布特征；再根據預先確定的加工時間和加工精度得到優化后的去除函數模型，并獲得去除函數的...