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    下載用于形成半導體器件貫通電極的玻璃基板的技術資料

    文檔序號:8134023

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    本發明提供可顯著地抑制α射線的發生,且能夠進行激光加工、與硅制部件的親和性高的、用于形成半導體器件貫通電極的玻璃基板。本發明涉及玻璃基板,其特征在于,其具有多個貫通孔,α計數為0.05c/cm2·h以下,包含40wt%以上的SiO2,且Li...
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