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    下載輥到輥蒸發系統和制造IBIIIAVIA族光電裝置的方法的技術資料

    文檔序號:8134003

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    本發明提供方法和設備,該方法和設備采用從一個或更多個組分供給源蒸發的組分,以形成前體層的一個或更多個膜,該前體層形成在連續柔性工件的表面上。具有特別意義的是蒸汽淀積系統的實施,這些蒸汽淀積系統影響連續柔性工件的水平布置部分和連續柔性工件的豎...
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