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    下載空氣質量流量計的技術資料

    文檔序號:8133826

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    本發明涉及一種具有傳感器芯片的空氣質量流量計,其中,傳感器芯片構造為微機電系統并且具有傳感元件、電子分析電路以及電子振蕩器,并且其中,利用膠粘劑將傳感器芯片固定在支承元件上。為了指定能夠實現特別可靠且準確的數據分析的空氣質量流量計,傳感器芯...
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