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    下載一種壓力傳感器的技術資料

    文檔序號:8130133

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    本發明提出一種壓力傳感器包括底座,所述底座上覆蓋有膜片,壓力傳感器還包括硅酸鹽薄片以及硅應變計,所述硅酸鹽薄片與所述膜片粘連,所述硅應變計部分浸入部分外露于所述硅酸鹽薄片,并且所述硅應變計與所述膜片絕緣。本發明提供的壓力傳感器,硅應變計通過...
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