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本發(fā)明涉及一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的熱吹掃結(jié)構(gòu)，包括反應(yīng)腔、設(shè)置在反應(yīng)腔內(nèi)的載盤、支撐載盤的載盤支撐、設(shè)置在載盤下側(cè)的加熱體、在加熱體下側(cè)設(shè)置的熱屏蔽層、接入吹掃氣體的進(jìn)氣通路、以及排出吹掃氣體的出氣通路。加熱體設(shè)置在熱屏蔽層與載盤底...該專利屬于上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司授權(quán)不得商用。