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本實(shí)用新型公開了一種基于硅基槽式波導(dǎo)的多模干涉型生物化學(xué)傳感器，其特征在于：該器件包括用于輸入光信號的輸入波導(dǎo)（1），兩個輸出波導(dǎo)，即第一輸出波導(dǎo)（3），第二輸出波導(dǎo)（4），多模干涉波導(dǎo)（5），輸入波導(dǎo)（1）與第一輸出波導(dǎo)（3），第二輸出波...該專利屬于東南大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過東南大學(xué)授權(quán)不得商用。