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    下載用于材料處理組件的熱感測的技術(shù)資料

    文檔序號:8109183

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    描述了用于監(jiān)測此種材料處理組件中的熱狀況的熱感測系統(tǒng)和方法的各種實(shí)施例。熱感測系統(tǒng)包括傳感器線纜,傳感器線纜結(jié)合一個(gè)或多個(gè)熱傳感器或聯(lián)接到一個(gè)或多個(gè)熱傳感器上。傳感器線纜定位在組件中,且熱傳感器提供溫度測量。在各種實(shí)施例中,傳感器線纜和熱傳...
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