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本發明公開了一種微機電系統（MEMS）。所述MEMS包括：基底；從基底向上延伸的第一樞軸；第一桿件臂，其隨著第一縱向軸線在基底之上延伸，且可樞轉地安裝到第一樞軸以繞第一樞轉軸線樞轉；第一電容器層，其在第一桿件臂的第一電容器部分之下的位置形成...
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