溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發明涉及MEMS傳感器領域中的加速度傳感器，具體是一種壓阻式單片集成四梁三軸加速度計，解決了現有壓阻式三軸加速度計存在結構復雜，靈敏度低，軸間耦合大的問題。該加速度計包括四根彈性懸臂梁、質量塊和支撐邊框，質量塊四個邊分別通過一根彈性懸臂梁...
該專利屬于中北大學所有，僅供學習研究參考，未經過中北大學授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。