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本實用新型提供一種大范圍平面度的測量裝置，從而方便、快速地對大范圍平面度進行有效測量。該大范圍平面度的測量裝置包括高精度自準直儀、斜方棱鏡組以及可轉動連接裝置。測量時，斜方棱鏡的測量頭部瞄準待測平面，通過高精度自準直儀測量待測平面的平面度，...該專利屬于中國科學院西安光學精密機械研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院西安光學精密機械研究所授權不得商用。
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本實用新型提供一種大范圍平面度的測量裝置，從而方便、快速地對大范圍平面度進行有效測量。該大范圍平面度的測量裝置包括高精度自準直儀、斜方棱鏡組以及可轉動連接裝置。測量時，斜方棱鏡的測量頭部瞄準待測平面，通過高精度自準直儀測量待測平面的平面度，...