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    下載脈沖激光沉積制備四氧化三鈷薄膜電極材料的方法及其應用的技術資料

    文檔序號:7680094

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    本發明涉及一種脈沖激光沉積制備Co3O4薄膜電極材料的方法及其應用。在約30Pa的氧氣氣氛中利用脈沖激光燒蝕純度大于等于99.9%金屬鈷靶材,在Mo基片上濺射沉積制備Co3O4薄膜電極材料,基片溫度為250℃。此法制得的Co3O4薄膜電化學...
    該專利屬于同濟大學所有,僅供學習研究參考,未經過同濟大學授權不得商用。

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