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本實用新型公開了運動部件二維位置共面檢測裝置，包括基座和工作臺，在基座和工作臺之間設有懸浮驅動機構和共面檢測機構，另有控制器分別與上述兩機構相接。其中，共面檢測機構采用導波桿和位置磁條副構成兩個方向的測量單元，導波桿與磁條副之間有二維平面內...
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