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    下載使用光解和/或熱化學氣相沉積法涂布容器內部的系統、設備和方法的技術資料

    文檔序號:7156628

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    本發明提供系統、設備和方法來將阻擋和/或潤滑劑材料涂覆到容器的內表面上,所述系統包括具有腔室的容器;氣體供應源,用于經具有延伸到所述腔室的部分的進氣口管道供應單體氣體;光解源和/或熱解表面,用于使所述單體氣體的至少一部分光解和/或熱解以形成...
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