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本發明提供通過維持坩堝中的成膜材料的熔液狀態并且傾動坩堝，能夠從坩堝將大致總量的成膜材料排出并防止坩堝的開裂破損的薄膜的制造裝置。該裝置具有：為保持成膜材料（３）而具有上部具備開口部的收容部的成膜源９；通過對收容部中的成膜材料照射電子束（６...
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