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本發明是揭露一種適用于一基板熱處理腔室中以將基板加熱至高達至少約1100℃的溫度的燈組件。在一實施例中，燈組件包括：一燈泡，該燈泡包圍住至少一光產生燈絲，且燈絲附接至一對導線；一燈座，是配置以容納該對導線；以及一套筒，其壁厚度為至少約0.0...
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