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本實用新型涉及一種磁懸浮分子泵系統(tǒng)，包括磁懸浮分子泵，所述磁懸浮分子泵具有軸向磁軸承和徑向磁軸承；第一電流檢測裝置，用于檢測徑向磁軸承靜態(tài)電流；第二電流檢測裝置，用于檢測徑向磁軸承靜態(tài)電流；位移檢測裝置，用于檢測轉(zhuǎn)子位移，和計算輸出轉(zhuǎn)子位移...該專利屬于清華大學(xué);北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過清華大學(xué);北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司授權(quán)不得商用。