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本公開的各實施例總體上涉及具有改進的應力不敏感性的Z軸微機電傳感器。一種微機電傳感器設備具有檢測結構，該檢測結構包括：具有頂面的基底；懸置在基底的頂面上方并且彈性耦合到轉子錨以便根據待檢測量相對于基底執行慣性運動的慣性質量體；以及在相應定子...
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