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    下載壓電自反饋激勵式微型電場傳感器、電場檢測方法及傳感器的技術(shù)資料

    文檔序號:44530392

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    本公開提供了一種壓電自反饋激勵式微型電場傳感器、電場檢測方法及傳感器,應(yīng)用于電場傳感器技術(shù)領(lǐng)域。該壓電自反饋激勵式微型電場傳感器包括:襯底,用于支撐拾振參考結(jié)構(gòu)、壓電驅(qū)動結(jié)構(gòu)、互屏蔽電場感應(yīng)結(jié)構(gòu)和彈性梁;壓電驅(qū)動結(jié)構(gòu),用于在對壓電驅(qū)動結(jié)構(gòu)施...
    該專利屬于中國科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過中國科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院授權(quán)不得商用。

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