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    下載兼容2~8寸鋼環(huán)的旋轉吸附載臺的技術資料

    文檔序號:44499128

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    本發(fā)明涉及一種兼容2~8寸鋼環(huán)的旋轉吸附載臺,安裝在DD馬達底板上的旋轉DD馬達通過DD馬達上轉接板驅動上方的產(chǎn)品吸附下治具板旋轉,在產(chǎn)品吸附下治具板上安裝有產(chǎn)品吸附上治具板;第一吸附腔體與第一吸附封板共同構成第一吸附區(qū)域,第二吸附腔體與第...
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