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    下載單組分光刻膠及其制備方法與應用的技術資料

    文檔序號:44489547

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    本公開提出了一種單組分光刻膠,具有如下式所示結構,其中:0≤m≤2,0≤n≤20;R<subgt;1</subgt;,R<subgt;2</subgt;和R<subgt;3</subgt;分別獨立地選自?...
    該專利屬于中國科學技術大學所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學技術大學授權不得商用。

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