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    下載單晶硅的生長設備的技術資料

    文檔序號:44469294

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    本發明提供了一種單晶硅的生長設備,其包括:坩堝組件,其用以容納硅料;加熱組件,設置在坩堝組件的外側以對容納在坩堝組件內的硅料進行加熱,包括位于所述坩堝組件外圍的第一加熱器;隔熱組件,其呈環狀設置于坩堝組件的外側且在高度方向上延伸,所述隔熱組...
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