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    下載一種具有聲傳輸結(jié)構(gòu)的薄膜體聲波諧振器的技術(shù)資料

    文檔序號:44466604

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    本發(fā)明公開了一種具有聲傳輸結(jié)構(gòu)的薄膜體聲波諧振器,在有效諧振區(qū)域的其中一條或多條邊外側(cè),沿遠離有效諧振區(qū)域的方向,在壓電薄膜的下表面和上表面依次交替設(shè)有若干凹槽;凹槽長度方向與所對應(yīng)有效諧振區(qū)域的邊平行,從而使該邊外側(cè)區(qū)域的壓電薄膜形成聲傳...
    該專利屬于東南大學(xué)所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過東南大學(xué)授權(quán)不得商用。

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