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本技術提供一種托盤組件、承載裝置及半導體工藝設備，托盤組件包括托盤和壓環；壓環壓蓋在托盤上，壓環在托盤的頂面的正投影與托盤的頂面的周向邊緣區域存在重合，壓環的內周面與托盤的上表面共同圍成安裝空間；托盤的上表面上凸出設置有多個支撐凸部，所有支...該專利屬于北京北方華創微電子裝備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京北方華創微電子裝備有限公司授權不得商用。
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本技術提供一種托盤組件、承載裝置及半導體工藝設備，托盤組件包括托盤和壓環；壓環壓蓋在托盤上，壓環在托盤的頂面的正投影與托盤的頂面的周向邊緣區域存在重合，壓環的內周面與托盤的上表面共同圍成安裝空間；托盤的上表面上凸出設置有多個支撐凸部，所有支...