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    下載半導體結構的形成方法的技術資料

    文檔序號:44413640

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    一種半導體結構的形成方法,包括:提供襯底;在襯底上形成第一介質層;在第一介質層上形成第一停止層,第一停止層內具有第一開口;在第一介質層上和第一停止層上形成第二介質層;在第二介質層上形成掩膜結構,掩膜結構內具有第二開口;以第二開口為掩膜刻蝕第...
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