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本發(fā)明涉及一種金剛線細(xì)線切割單晶大尺寸薄硅片用切割液,該金剛線切割液包括以下組分:分子量寬分布分散劑20%~30%,潤(rùn)濕滲透劑15%~22%,潤(rùn)滑分散劑8%~15%,去離子水為余量。本發(fā)明產(chǎn)品具備優(yōu)異的分散性能和潤(rùn)濕性能,在細(xì)線徑金剛線切割...該專利屬于武漢宜田科技發(fā)展有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過武漢宜田科技發(fā)展有限公司授權(quán)不得商用。