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    下載一種倒焊紅外探測器芯片的技術資料

    文檔序號:37927240

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    本實用新型公開了一種倒焊紅外探測器芯片,包括紅外敏感陣列和讀出電路;紅外敏感陣列依次包括襯底層、外延層、鈍化層和電連接層,外延層刻蝕形成矩形陣列排布的若干像元,相鄰像元之間形成隔離溝壑,且相鄰四個像元之間的隔離溝壑形成十字溝壑;鈍化層沉積覆...
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