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本發明提供了一種微制絨拋光工藝，本發明在濕法槽式堿拋中增加一個制絨槽，然后改變背拋工藝，具體表現為在堿拋功能槽之前增加一個微制絨功能槽，在堿拋之前用上述工藝配方進行制絨處理，消除硅片邊緣與中間由于單面硼擴造成的摻雜濃度差異帶來的材料理化性質...
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