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一種反射式偏振分光棱鏡及光刻機，反射式偏振分光棱鏡包括：錯位平行設置的第一面和第二面，錯位平行設置的第三面和第四面；第一面和第二面為豎直錯位平行設置，分別用于透射光束；第三面和第四面傾斜錯位平行設置于第一面和第二面之間，第三面朝向所述第一面...
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