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本申請公開了一種集成式硅基芯片及其制作方法、集成電路，集成式硅基芯片包括：硅襯底、基于硅的控制電路、砷化鎵外延結構、砷化鎵高電子遷移率晶體管和匹配電路；硅襯底被劃分為硅器件區域和砷化鎵器件區域；基于硅的控制電路，設置在硅襯底上，對應設置在硅...該專利屬于深圳市匯芯通信技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過深圳市匯芯通信技術有限公司授權不得商用。
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