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本實(shí)用新型公開(kāi)一種微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)，包括一基板、一背板、一振膜以及多個(gè)長(zhǎng)孔。前述背板設(shè)置在前述基板的一側(cè)，前述振膜活動(dòng)地設(shè)置在前述基板與前述背板之間。前述長(zhǎng)孔形成于前述振膜上，且彼此相隔一距離，其中前述長(zhǎng)孔具有非均勻一致的寬度，用以降低前述...該專利屬于美商富迪科技股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)美商富迪科技股份有限公司授權(quán)不得商用。