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本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種二級(jí)加熱反應(yīng)腔體裝置，涉及原子層沉積技術(shù)領(lǐng)域，能夠降低能源的消耗。本實(shí)用新型包括：進(jìn)氣端密封法蘭，第一級(jí)加熱裝置，第二級(jí)加熱裝置，壓力表，真空泵，出氣端密封法蘭，反應(yīng)腔體，氣動(dòng)閥Ⅱ，氣動(dòng)閥Ⅰ。所述的進(jìn)氣端密封法蘭和...該專利屬于南京工程學(xué)院所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過南京工程學(xué)院授權(quán)不得商用。