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本發明實施例公開了一種光刻機多路同步調焦調平系統和方法，包括圖像采集模塊和主控模塊；其中，圖像采集模塊中多個模擬信號處理模塊均與數字信號處理模塊電連接；主控模塊向圖像采集模塊發送圖像采集指令；數字信號處理模塊按照同一時鐘信號向多個模擬信號處...該專利屬于上海微電子裝備(集團)股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海微電子裝備(集團)股份有限公司授權不得商用。
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