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    下載具有側柵疊層的SONOS存儲器件及其制造方法的技術資料

    文檔序號:3208209

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    本發明提供一種硅-氧化物-氮化物-氧化物-硅(SONOS)存儲器件及其制造方法。該SONOS存儲器件包括半導體襯底、淀積在半導體襯底上的絕緣層、形成在絕緣層的預定區域并且被分為源區、漏區和溝道區的有源層、形成在溝道區一側的第一側柵疊層和形成...
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