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本發明提供一種化學－機械拋光組合物，其包含：（ａ）二氧化硅顆粒、（ｂ）以所述拋光組合物總重量計約５×１０↑［－３］至約１０毫摩爾／千克的至少一種選自由鈣、鍶、鋇及其混合物組成的群組的堿土金屬、（ｃ）約０．１至約１５重量％的氧化劑、及（ｄ）含...
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