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本發明公開了鈦酸鋇基超順電膜材料、中低溫在硅基底上集成制備鈦酸鋇基超順電膜的方法及其應用。其方法為：在室溫(無加熱)或150℃條件下，在鍍完鉑鈦的基體表面由下向上依次磁控濺射緩沖層、鈦酸鋇基膜，在鈦酸鋇基膜表面磁控濺射頂電極，所述緩沖層的材...
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