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本實用新型涉及一種微機械光開關，屬于微機械領域。其特征在于（１）上、下兩電極分別位于二個形狀相似的二個外框架內，含上電極的上外框架放在另一外框架上面，彼此由絕緣氧化物層絕緣；（２）４個Ｖ型槽位于上電極所在的外框架的上表面，它們與鏡子均呈４５...該專利屬于中國科學院上海微系統與信息技術研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院上海微系統與信息技術研究所授權不得商用。
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本實用新型涉及一種微機械光開關，屬于微機械領域。其特征在于（１）上、下兩電極分別位于二個形狀相似的二個外框架內，含上電極的上外框架放在另一外框架上面，彼此由絕緣氧化物層絕緣；（２）４個Ｖ型槽位于上電極所在的外框架的上表面，它們與鏡子均呈４５...