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本發(fā)明提供了一種用于制造微結(jié)構(gòu)的方法，包括：在襯底上形成第一結(jié)構(gòu)部分；在第一結(jié)構(gòu)部分上配置犧牲材料；在犧牲材料和襯底上淀積一層第一結(jié)構(gòu)材料；除去犧牲材料的至少一部分，以在第一結(jié)構(gòu)材料層中形成第二結(jié)構(gòu)部分；以及在第二結(jié)構(gòu)部分的表面或第一結(jié)構(gòu)部...該專利屬于視頻有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過視頻有限公司授權(quán)不得商用。