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    下載壓阻式高g值加速度計的技術資料

    文檔序號:2625266

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    本發明涉及微機械電子技術領域,具體是一種壓阻式高g值加速度計。解決了現有壓阻式加速度計結構不能同時滿足固有頻率高、靈敏度高、能承受較高的橫向加速度等特性要求的問題,該加速度計包括固定于玻璃底板上的硅基框架、彈性梁、以及通過彈性梁支懸于硅基框...
    該專利屬于中北大學所有,僅供學習研究參考,未經過中北大學授權不得商用。

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