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本發(fā)明涉及一種功率半導(dǎo)體器件用硅片清洗液。包括一種功率半導(dǎo)體器件用硅片清洗液，其特征在于：包括C12脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基二苯醚二磺酸鹽、氫氧化鈉和烷基苯磺酸鈉，配制方法如下：先將烷基二苯醚二磺酸鹽和C12脂肪醇聚氧乙烯醚按質(zhì)量比1：2~3...該專利屬于中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所授權(quán)不得商用。