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一種用于干涉測量單元的非線性誤差補償裝置，包括非線性誤差補償單元、絕對零位信號產生電路（１５）、光程差細分判向計數電路（１６）和設有光程差－位移查找表的數據處理裝置（１７）； 非線性誤差補償單元包括特性相同的二個光電二極管（１２），光...
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