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本發明公開了一種ＣＣＤ間隙衍射法微鉆直徑測量方法及裝置。本發明方法為：以激光作光源，經過準直擴束后，形成平行光束，照射在被測微鉆與可上、下移動的參考棱緣與待測微鉆所構成的衍射間隙間，通過間隙后的衍射光束再經一會聚透鏡，聚焦在位于其焦平面的Ｃ...
該專利屬于唐曉紅;熊國良;丁陽喜所有，僅供學習研究參考，未經過唐曉紅;熊國良;丁陽喜授權不得商用。

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