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本文提供使用脈沖射頻(RF)功率操作等離子體增強基板處理系統的方法。在一些實施例中，使用脈沖射頻(RF)功率操作等離子體增強基板處理系統的方法包括以下步驟：在第一時間周期期間以第一功率水平將第一脈沖RF功率波形提供到處理腔室，在第一時間周期...
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