溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

提供用于定位和/或旋轉非固體接觸的基板(諸如使晶片浮動于氣體薄層上)的裝置和方法。由于與處理腔室的各部件無固體接觸，因此使用晶片上的各特征結構來確定晶片位置和旋轉速度。閉環控制系統設置有電容式傳感器，以監測晶片邊緣在水平平面中的位置。控制系...
該專利屬于應用材料公司所有，僅供學習研究參考，未經過應用材料公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。