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    下載一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法及粘棒工裝的技術(shù)資料

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    本發(fā)明涉及一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法及粘棒工裝,其中包含如下步驟:(1)粘膠;(2)上料;(3)線切割,通過對現(xiàn)有金剛線多線切割工藝做優(yōu)化,實施對多邊結(jié)構(gòu)晶棒的切片;(4)下料,采用上下料工裝將加工完成后的硅片運送脫膠機中;(5)脫膠,...
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